从尺寸极小的MEMS传感器到大尺寸晶圆，甚至整个平板显示器，检测期间不会对样品造成破坏。Axio Imager Vario支持的最大样品高度为254 mm，最大横向样品空间为300 mm，大大拓展了可以测试的样品范围。机柱设计确保了良好的稳定性。可满足在洁净室内检测晶圆的应用要求。利用驱动Z轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至理想的聚焦位置。

具有硬件自动对焦功能的Axio Imager Vario能够在高达12000 µm的焦点捕获范围内精准快速地聚焦反射样品。聚焦系统能够保证聚焦精度达到所使用物镜景深的0.3倍。自动聚集功能适合于使用反射光、透射光、明场、暗场、偏光、微分干涉相差及斜照明观察方式的应用。